但增加排量后，電暈處理深度如果產(chǎn)品放置少了，真空度就會變得很低，電源的負(fù)載就會增加，不穩(wěn)定，容易燒壞電源和匹配器，造成一些不必要的損失。另一種常用的方法是延長抽真空時間（改變系統(tǒng)參數(shù)），減少單批次加工產(chǎn)品數(shù)量，以保證等離子體設(shè)備正常運(yùn)行。。

等離子體是一種被稱為&ldquo的電離氣體狀態(tài)；第四種物質(zhì)狀態(tài)&rdquo；由反應(yīng)性粒子組成的，一種太陽能背板薄膜電暈處理裝置如電子、離子和自由基。等離子體與固體的相互作用大致可分為三個子類型：等離子體刻蝕或清洗，將材料從表面去除；等離子體活化，表面被等離子體中存在的物質(zhì)物理或化學(xué)修飾；等離子涂層，材料以薄膜形式沉積在表面。根據(jù)等離子體產(chǎn)生的條件，等離子體可分為真空等離子體或大氣等離子體。

我們來看看等離子清洗技術(shù)的原理：等離子體，一種太陽能背板薄膜電暈處理裝置即物質(zhì)的第四態(tài)，是由部分電子剝奪后的原子和原子電離后產(chǎn)生的電子、正電子組成的電離氣態(tài)物質(zhì)。這種電離氣體由原子、分子、原子團(tuán)、離子和電子組成。可實(shí)現(xiàn)物體表面的超凈清洗、表面活化、蝕刻、光整及等離子表面涂層。等離子體清洗技術(shù)是一種干法處理方法，它取代了傳統(tǒng)的濕法處理技術(shù)，具有以下優(yōu)點(diǎn)：1.環(huán)保技術(shù)：等離子體作用過程為氣固相干反應(yīng)，不消耗水資源，不需添加化學(xué)物質(zhì)。

根據(jù)等離子體電磁感應(yīng)原理，電暈處理深度電流頻率越高，磁通變化率越大，感應(yīng)電位越大，電磁感應(yīng)原理越明顯，等離子體束流越穩(wěn)定。由于高頻正弦交流電的電磁感應(yīng)原理，等離子體束具有集膚效應(yīng)。電流頻率越高，穿透深度越小，趨膚效應(yīng)越明顯，等離子體中自由電子越集中。隨著表面電子密度的增加，自吸收現(xiàn)象減弱（發(fā)射極輻射的譜線被自身原子吸收，使譜線中心強(qiáng)度減弱），等離子體更加穩(wěn)定。

電暈處理深度

玻璃制品粘接前的等離子體處理1.擋風(fēng)玻璃粘接預(yù)處理，更防潮隔音2.實(shí)驗(yàn)室細(xì)菌培養(yǎng)皿親水性，粘附處理，均一產(chǎn)菌3.顯示器粘接預(yù)處理等離子體處理器的金屬表面改性1.增加與金屬表面的附著力2.提高金屬表面耐腐蝕性能3.提高金屬的硬度和磨損特性日用品和家用電器的等離子體處理1.涂裝前的表面處理使涂層更結(jié)實(shí)2.印前表面處理，印花不會脫落3.粘接前表面處理，穩(wěn)定粘接4.高檔家具表面處理，無需打磨，直接噴漆，不掉漆等離子處理器的特點(diǎn)是：一是包裝盒表面處理深度小但非常均勻。

在HBr/O2等離子體中，由于氫離子的質(zhì)量，HBr分解氫離子很小，在電場加速作用下，高能氫離子可以穿過柵氧化硅，被注入到深達(dá)10nm的體硅中，使體硅產(chǎn)生位錯缺陷，然后氧原子很容易進(jìn)入受損的體硅中形成氧化層。氧化層在隨后的清洗過程中被去除，導(dǎo)致體硅的損傷。在相同電場加速條件下，HBr/O2氣體等離子體產(chǎn)生的損傷層深度為10nm。沒有HBr氣體的參與，單O2氣體條件下體硅損傷層深度僅為2nm左右。

等離子體處理后的物體表面往往會形成許多新的活性基團(tuán)，使物體表面“活化”，改變其性質(zhì)，可以大大提高物體表面的潤濕性和粘附性能，這對許多材料來說非常重要。因此，等離子清洗比溶劑濕法清洗有許多優(yōu)點(diǎn)。等離子體清洗由真空室、真空泵、高頻電源、電極、氣體導(dǎo)入系統(tǒng)、工件轉(zhuǎn)移系統(tǒng)和控制系統(tǒng)組成。整個清洗過程大致如下；將清洗后的工件送入真空式固定，啟動運(yùn)轉(zhuǎn)裝置，啟動排氣，使真空室內(nèi)的真空度達(dá)到10Pa左右的標(biāo)準(zhǔn)真空度。

與氣體氣氛不同，等離子體表面處理器在清洗過程中可以通過常壓輝光放電裝置充入氬、氦等惰性氣體。3.等離子表面處理器處理能去除底漆嗎？答：不會，因?yàn)闊o論是粘接、涂布、植絨、移印還是噴碼，我們的等離子表面處理器都是去掉底漆，降低產(chǎn)品成本，達(dá)到綠色環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)。4.等離子表面處理系統(tǒng)能否處理溝槽等復(fù)雜三維結(jié)構(gòu)？答：可以，對于薄板、槽、環(huán)等復(fù)雜三維表面，我們可以提供相應(yīng)的等離子清洗表面處理系統(tǒng)。

一種太陽能背板薄膜電暈處理裝置

固（固）液（液）氣（氣）等離子體{等離子體}2.等離子體技術(shù)應(yīng)用：1）表面清潔2）表面活化3）蝕刻4）等離子體接枝聚合5.等離子體應(yīng)用：PCB/FPC半導(dǎo)體蝕刻，電暈處理深度封裝活化LED清洗、封裝和激活汽車電子太陽能紡織印染生物醫(yī)學(xué)印刷觸摸屏與玻璃清洗環(huán)保廢氣治理6.等離子體表面處理的特點(diǎn)和優(yōu)勢（1）速度快：氣體放電瞬間發(fā)生等離子體反應(yīng)，有時幾秒鐘就能改變表面性質(zhì)；低溫：接近常溫，特別適用于高分子材料；③高能：等離子體是一種具有非凡化學(xué)活性的高能粒子，無需添加催化劑，在溫和條件下即可實(shí)現(xiàn)傳統(tǒng)熱化學(xué)反應(yīng)體系無法實(shí)現(xiàn)的反應(yīng)（聚合反應(yīng)）；（4）適應(yīng)性廣：無論被處理對象的襯底類型如何，都可以處理，如金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料都可以很好地處理；⑤功能強(qiáng)：僅涉及以及高分子材料的淺表面，在保持其自身特性的同時能賦予其新的功能及以上；⑥環(huán)保性：等離子體作用過程為氣固共格反應(yīng)，不消耗水資源，不需添加化學(xué)試劑，對環(huán)境無殘留，具有綠色環(huán)保的特點(diǎn)；⑦成本低：裝置簡單，操作維護(hù)方便，可連續(xù)運(yùn)行。