盡管這些氣體通常相對(duì)活潑、有毒且具有腐蝕性，yamato等離子體刻蝕但在使用這些特殊氣體時(shí)應(yīng)格外小心，因?yàn)樗鼈兪悄承┘呻娐分圃旃に嚥襟E的重要材料來源。特殊氣體通常使用單獨(dú)的壓力鋼瓶。它被輸送到半導(dǎo)體。晶圓廠通常存儲(chǔ)在單獨(dú)的存儲(chǔ)室中，氣體通過一系列控制、穩(wěn)壓、切換和清潔系統(tǒng)連接到工藝室，例如等離子蝕刻室。該儲(chǔ)藏室還應(yīng)配備用于氣體純度測試的過濾系統(tǒng)和相應(yīng)的安全裝置，例如泄漏報(bào)警器和火災(zāi)報(bào)警器。

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