等離子清洗機(jī)設(shè)備原理：&BULL；輸出功率：0.6KW&BULL；輸入電壓：220 / 230VAC&PLUSMN；10% 50 / 60KHZ&BULL；工作頻率：22.5KHZ&BULL；輸出功率可在Advance&BULL；噴嘴數(shù)量：1個(gè)（定制）&BULL；加工寬度：38MM&BULL；氣源：0.4-0.6BAR（工作壓力由PID自動(dòng)電壓調(diào)節(jié)器控制）&BULL；控制系統(tǒng)：PLC人機(jī)接口自動(dòng)控制，附著力促進(jìn)劑550速度與等離子功率自動(dòng)匹配可以，慢無(wú)紙關(guān)機(jī)。

當(dāng)能量密度為2200 kJ/mol時(shí)，佛山附著力促進(jìn)劑作用機(jī)理CH4和CO2的轉(zhuǎn)化率分別為43.6%和58.4%。增加能量密度提高了 CH4 和 CO2 的轉(zhuǎn)化率，但有利于甲烷中 CH 鍵 (4.5eV) 和二氧化碳中 CO 鍵 (5.45eV) 的裂解。 , 但兩者的效果是不一樣的。如果能量密度小于1500 KJ/mol，在相同實(shí)驗(yàn)條件下，CH4轉(zhuǎn)化率會(huì)高于CO2轉(zhuǎn)化率。

因此，佛山附著力促進(jìn)劑作用機(jī)理如果CO2的添加量超過(guò)50%，C2H4和C2H2的總收率就會(huì)下降。 CO2 添加量的變化會(huì)導(dǎo)致反應(yīng)氣態(tài)產(chǎn)物中 C2H4 / C2H2 與 H / CO 的比率發(fā)生變化。隨著 CO2 添加量的增加，C2H4 / C2H2 的比率增加。 H2/CO 量減少。這是因?yàn)榉磻?yīng)體系中的 CO 產(chǎn)率急劇增加。。

利用等離子處理時(shí)會(huì)發(fā)出輝光，佛山附著力促進(jìn)劑作用機(jī)理故稱之為輝光放電處理。　 　　等離子體清洗的機(jī)理，主要是依靠等離子體中活性粒子的“活化作用”達(dá)到去除物體表面污漬的目的。就反應(yīng)機(jī)理來(lái)看，等離子體清洗通常包括以下過(guò)程：無(wú)機(jī)氣體被激發(fā)為等離子態(tài)；氣相物質(zhì)被吸附在固體表面；被吸附基團(tuán)與固體表面分子反應(yīng)生成產(chǎn)物分子；產(chǎn)物分子解析形成氣相；反應(yīng)殘余物脫離表面。

佛山附著力促進(jìn)劑作用機(jī)理

超聲等離子體的自偏壓在1000V左右，射頻等離子體的自偏壓在250V左右，微波等離子體的自偏壓很低，只有幾十伏，而且三種等離子體的機(jī)理不同。超聲等離子體的反應(yīng)是物理反應(yīng)，射頻等離子體的反應(yīng)是物理反應(yīng)和化學(xué)反應(yīng)，微波等離子體的反應(yīng)是化學(xué)反應(yīng)。超聲等離子體清洗對(duì)被清洗表面的影響最大，因此在實(shí)際半導(dǎo)體生產(chǎn)應(yīng)用中多采用射頻等離子體清洗和微波等離子體清洗。。

例如，如果氣體種類不同，清洗過(guò)程中的反應(yīng)機(jī)理就會(huì)不同，活性氣體的等離子體會(huì)具有更強(qiáng)的化學(xué)反應(yīng)性。具有不同性質(zhì)的氣體有不同的污染物選擇用于清潔。當(dāng)一種氣體被一種或多種附加氣體滲透時(shí)，這些元素的組合提供了所需的蝕刻和清潔效果。在等離子體中的離子或高活性原子的幫助下，表面污染物被清除或形成揮發(fā)性氣體。通過(guò)真空系統(tǒng)去除揮發(fā)性氣體，達(dá)到清潔表面的目的。

（2）基態(tài)CO2分子吸收能量轉(zhuǎn)變?yōu)榧ぐl(fā)態(tài)CO2分子，顯然CO2轉(zhuǎn)化主要依賴于前者。 在相同的plasma等離子體條件下，純CH4和純CO2的轉(zhuǎn)化率分別為10.9%和9.4%， CH4和CO2共進(jìn)料時(shí)CH4和CO2轉(zhuǎn)化率均高于上述數(shù)值，說(shuō)明CH4和CO2共進(jìn)料 有利于兩者的共活化。 當(dāng)體系內(nèi) CO2濃度由15%增至35%時(shí)，C2烴收率略有增加；隨著體系內(nèi)CO2濃度的進(jìn)一步增加，C2烴收率逐漸下降。

加熱到幾萬(wàn)度后，就會(huì)變成物質(zhì)的第四個(gè)條件--等離子體！無(wú)論是大氣（常壓）還是真空（低壓），在數(shù)據(jù)外修時(shí)都會(huì)引入工藝氣體，如無(wú)水無(wú)油的潔凈壓縮空氣，有一定純度要求的氮?dú)狻⒀鯕狻鍤獾取?/p>

附著力促進(jìn)劑550

雖然增加能量密度有利于提高CH4和CO2的轉(zhuǎn)化率，附著力促進(jìn)劑550有利于甲烷C-H鍵(4.5eV)和二氧化碳C-O鍵(5.45eV)的斷裂，但對(duì)兩者的影響不同。當(dāng)能量密度低于1500kJ/mol時(shí)，相同實(shí)驗(yàn)條件下CH4的轉(zhuǎn)化率高于CO2的轉(zhuǎn)化率，說(shuō)明在較低的能量密度下，體系中高能電子的平均能量較低，大部分電子的能量與甲烷C-H鍵的平均鍵能相近但低于二氧化碳C-O鍵的裂解能，因此CH4的轉(zhuǎn)化率高于CO2。

低溫等離子設(shè)備是一種小型、廉價(jià)的臺(tái)式等離子清洗機(jī)，佛山附著力促進(jìn)劑作用機(jī)理配有鉸鏈門(mén)、觀察窗和精密控制計(jì)量閥，用于納米級(jí)表面清潔和活化小樣本。電暈等離子處理器是應(yīng)用能量轉(zhuǎn)換技術(shù)，在一定的真空負(fù)壓下，氣體通過(guò)電能被轉(zhuǎn)換成活性高的氣體等離子體，將氣體等離子體溫柔地洗滌樣品的固體表面，引起樣品分子結(jié)構(gòu)的變化從而實(shí)現(xiàn)有機(jī)污染的表面清洗，在很短的時(shí)間內(nèi)，有機(jī)污染物通過(guò)機(jī)械泵排出，其清洗能力可以達(dá)到分子水平。