全氟醚橡膠O型密封圈真空等離子處理
發(fā)布時(shí)間：2025-12-24 16:37:50
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今天要處理的這批全氟醚橡膠O型密封圈，樣品源自華南地區(qū)一家專注生產(chǎn)高性能密封件的龍頭企業(yè)。客戶反饋其在半導(dǎo)體濕法刻蝕設(shè)備中，需要更穩(wěn)定的界面性能以抵抗化學(xué)藥液滲透。
先看處理前狀態(tài)：進(jìn)行滴水測(cè)試，水滴滴落后在密封圈表面聚攏不散，呈現(xiàn)圓滾的水珠狀；掛水測(cè)試中，密封圈浸水后提起，表面掛著多個(gè)大小不一、分散的水珠。這表明其表面呈現(xiàn)極強(qiáng)的疏水性，可能導(dǎo)致工藝中化學(xué)藥液微滲或界面穩(wěn)定性不足 。 現(xiàn)在將這批全氟醚橡膠O型密封圈放入真空等離子清洗機(jī)。
在真空環(huán)境下，等離子體產(chǎn)生的高活性粒子（如氧離子、自由基）會(huì)均勻作用于密封圈表面，通過物理刻蝕和化學(xué)反應(yīng)，有效去除有機(jī)污染物，并在其惰性表面引入羥基、羧基等親水性官能團(tuán)，針對(duì)性提升其表面能和水潤(rùn)濕性 。
看處理后的效果！滴水測(cè)試顯示，水滴接觸表面后迅速擴(kuò)散鋪展；掛水測(cè)試中，密封圈提起后表面僅懸掛著一個(gè)連續(xù)的大水珠。經(jīng)過真空等離子清洗機(jī)處理，全氟醚橡膠O型密封圈的表面親水性得到顯著優(yōu)化，這有助于在苛刻工況下形成更穩(wěn)定的密封界面，減少因藥液微滲導(dǎo)致的設(shè)備異常，提升工藝穩(wěn)定性 。
